11月4日，陜西光電子先導(dǎo)院宣布其建設(shè)的8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)正式通線(xiàn)。這是西北地區(qū)首條硅光中試線(xiàn)，將為國(guó)內(nèi)光子產(chǎn)業(yè)各類(lèi)創(chuàng)新主體提供多種類(lèi)型光電、硅光芯片的研發(fā)和中試服務(wù)，為陜西光子產(chǎn)業(yè)延鏈補(bǔ)鏈提供有力支撐。

光子技術(shù)是新一輪科技革命的引領(lǐng)性技術(shù)。2021年，陜西立足自身優(yōu)勢(shì)，前瞻布局，在國(guó)內(nèi)率先發(fā)布“追光計(jì)劃”，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)集群快速壯大。4年來(lái)，陜西光子產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式成長(zhǎng)，企業(yè)數(shù)量攀升至370多家，產(chǎn)業(yè)規(guī)模從150億元躍升至365億元，初步構(gòu)建起“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產(chǎn)業(yè)鏈條。

“硅光技術(shù)是AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領(lǐng)域的核心支撐?！标兾鞴怆娮酉葘?dǎo)院總經(jīng)理?xiàng)钴娂t說(shuō)，全球硅光中試資源大多掌握在歐美企業(yè)手中。國(guó)內(nèi)企業(yè)依托國(guó)外平臺(tái)流片要支付高昂費(fèi)用，且面臨流片周期長(zhǎng)、產(chǎn)能優(yōu)先供給受限等問(wèn)題。自建產(chǎn)線(xiàn)則要巨額投入，這讓中小企業(yè)和科研團(tuán)隊(duì)望而卻步。

為破解這一困境，2023年，陜西光電子先導(dǎo)院總投資7.5億元啟動(dòng)建設(shè)8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)，引進(jìn)比利時(shí)IMEC“130nm硅光芯片工藝包”，并引入光刻、刻蝕等60多臺(tái)（套）關(guān)鍵核心設(shè)備，構(gòu)建起自主可控的先進(jìn)工藝體系。

“在陜西進(jìn)行中試，排隊(duì)時(shí)間短、效率高，速度比在國(guó)外快5倍以上。”深圳瑞識(shí)智能科技有限公司董事長(zhǎng)汪洋說(shuō)。

“8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)通線(xiàn)彌補(bǔ)了陜西在硅光芯片中試領(lǐng)域的短板。未來(lái)，該平臺(tái)將加速應(yīng)用于人工智能、光通信、光計(jì)算、低空飛行、醫(yī)療健康等領(lǐng)域產(chǎn)品的迭代進(jìn)程?！睏钴娂t介紹，8英寸先進(jìn)硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)已與10余家頭部企業(yè)達(dá)成意向合作協(xié)議，并吸引多家外地企業(yè)聚集陜西。

楊軍紅說(shuō)：“我們將發(fā)揮國(guó)家級(jí)光電子集成產(chǎn)業(yè)中試平臺(tái)優(yōu)勢(shì)，積極構(gòu)建‘化合物半導(dǎo)體+硅光+異質(zhì)異構(gòu)集成’三位一體的平臺(tái)架構(gòu)，實(shí)現(xiàn)從材料生長(zhǎng)、芯片制程、器件封裝到系統(tǒng)測(cè)試的全鏈條覆蓋，助力陜西建設(shè)光子產(chǎn)業(yè)高地?！?（記者 蘇怡 田若楠）

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